Substrat de napolitană de cuarț
Substraturile pentru plachete de cuarț sunt plachete realizate în principal din cuarț de{0}}puritate ridicată (SiO₂), utilizate pe scară largă în semiconductori, optoelectronice, sisteme micro-electromecanice (MEMS), dispozitive optice și alte domenii.
Descriere
Proprietățile materialelor
- Puritate ridicată:Fabricat de obicei din cuarț sintetic (de exemplu, silice topită), cu puritate extrem de ridicată (mai mare sau egală cu 99,99%) și impurități minime pentru a evita afectarea performanței dispozitivului.
- Stabilitate termică:Coeficient scăzut de dilatare termică (≈0,55×10⁻⁶/grad ) și rezistență ridicată la temperatură-(punct de înmuiere ~1600 grade ), potrivit pentru procese la temperatură-înaltă.
- Performanță optică:Gamă largă de transmisie (UV la IR), cu transmisie UV excepțională, ideală pentru măști foto, lentile etc.
- Inerție chimică:Rezistent la acizi și alcalii (cu excepția acidului fluorhidric), potrivit pentru procesele de gravare umedă.
- Izolație electrică:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), ideal pentru substraturi izolante sau dispozitive de-înaltă frecvență.
Aplicații
Fabricarea semiconductorilor
- Substraturi Photomask
- Componente pentru litografie EUV
- Purtători de procesare a plachetelor
Fotonica si optoelectronica
- Substraturi optice pentru ghiduri de undă
- Montare diodă laser
- Componente de calcul cuantic
Aplicații de specialitate
- baze de rezonanță MEMS
- Optica telescopului spațial
- Sisteme cu laser de-înaltă energie
Procesul de fabricație
- Sinteza materiei prime:Produs prin depunere de vapori (de exemplu, oxidarea SiCl₄) sau purificarea cuarțului natural.
- Topire și formare:Topire-la temperatură ridicată, urmată de răcire în lingouri sau trasare directă în tije.
- Tăiere:Tăiate în napolitane subțiri folosind ferăstraie cu sârmă diamantată sau tăiere cu laser.
- Slefuire si lustruire:Lustruirea chimic-mecanică (CMP) atinge o netezime la nivel de nanometri{0}}.
- Curățare și inspecție:Îndepărtarea particulelor și a contaminanților metalici, urmată de testarea defectelor și a parametrilor.
Proprietăți
|
Proprietăți fizice |
Valori |
|
Puritate |
＞99.99% |
|
Densitate |
2,2 g/cm3 |
|
Transparenţă |
＞90% |
|
Duritatea Mohs |
5.5--6.5 |
|
Punct de deformare |
1280 de grade |
|
Punct de înmuiere |
1750 de grade |
|
Punct de recoacere |
1250 de grade |
|
Căldură specifică (20 - 350 grade ) |
670J/kg. grad |
|
Conductivitate termică (20 grade) |
1,4 W/m. grad |
|
Conductivitate termică (w/mk, 1000 grade) |
1.0-1.2 |
|
Indicele de refracție |
1.4585 |
|
Coeficientul de dilatare termică |
5.510 -7cm/cm. grad |
|
Temperatura de lucru caldă - |
1750--2050 grade |
|
Temperatura de serviciu pe termen scurt de - |
1450 de grade |
|
Temperatura de serviciu pe termen lung de - |
1100 de grade |
|
Proprietăți chimice |
Valori |
|
Rezistent la acizi |
Acid puternic (cu excepția HF), soluție organică alcalină puternică |
|
Temperaturi ridicate Rezistent la coroziune |
Excelent |
|
Conținut de impurități de metal |
<5 ppm |
|
Proprietăți electrice |
Valori |
|
Rezistivitate |
7107Ω.cm |
|
Rezistenta de izolare |
250~400Kv/cm |
|
Constanta dielectrica |
3.7~3.9 |
|
Coeficientul de absorbție dielectric |
＜410-4 |
|
Coeficientul de pierdere dielectrică |
＜110-4 |
|
Proprietăți mecanice |
Valori |
|
Rezistența la compresiune |
1100MPa |
|
Rezistența la încovoiere |
67MPa |
|
Rezistență la tracțiune |
48MPa |
|
Raportul lui Poisson |
0.14~0.17 |
|
Modulul lui Young |
72000MPa |
|
Modulul de forfecare |
31000MPa |
FAQ
Î1: Care este dimensiunea maximă disponibilă a substraturilor de napolitană de cuarț?
R: Producție standard de până la 300 mm diametru, cu prototipuri de 450 mm disponibile pentru cercetare și dezvoltare.
Î2: Puteți oferi profile de grosime personalizate?
R: Da - putem produce:
- Napolitane cu pană (pentru aplicații cu laser)
- Modele conice de precizie
- Mesa-suprafețe structurate
Î3: Ce protocol de curățare recomandați?
A: Proces standard de curățare RCA:
1. Eliminarea organică (H₂SO₄:H₂O₂)
2. Curățare ionică (HCl:H₂O₂)
3. HF-ultima pentru suprafața hidrofilă
Tag-uri populare: substrat de napolitană de cuarț, China producători de substrat de napolitană de cuarț, furnizori, fabrică
Trimite anchetă
S-ar putea sa-ti placa si
